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日本が韓国への輸出規制品目として発表したフッ化水素（エッチングガス）の輸出を、ロシアが韓国政府に提案してきたことが分かった。韓国大統領府関係者は12日、「ロシアがフッ化水素を供給するとの意向を韓国側にこのほど伝えてきた。現在、その提案を検討しているところだ」と語った。

今月1日に日本が輸出規制を発表して以来、フッ化水素の問題は連日取りざたされている。超高純度フッ化水素は半導体回路を形成し、不純物を除去するのに不可欠だが、韓国の半導体メーカーはこの素材を日本にほぼ100％依存しているため、供給が中止されれば韓国の半導体産業がストップする可能性があるからだ。ロシア製のものが日本製のものの代替品になるなら、韓国の半導体産業界にとっては好材料だ。しかし、同業界や専門家の間では「本当にロシア製のものが半導体製造工程で使えるかどうかを見るには、確認しなければならないことが多い」と話す。

半導体製造工程用のフッ化水素は99.999％以上の超高純度製品で、サムスン電子やSKハイニックスなどに納品している日本のステラケミファや森田化学工業が世界市場を掌握している。

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超高純度であることは製品不良率を下げるために不可欠な要素だ。半導体は10ナノメートル（㎚、1ナノメートルは10億分の1メートル）前後の超微細工程で作られる。純度が低く不純物が増えれば不良率も跳ね上がる。例えば、純度99.99％のフッ化水素内にある不純物は、純度99.999％のフッ化水素内にある不純物の10倍となる。ソウル大学材料工学部のファン・チョルソン教授は「肉眼では見えない不純物でも、10ナノ以下では致命的なダメージとなる」と話す。
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記事では、韓国は最近6年間、ロシア製フッ化水素を輸入していない。ソウル大学化学生物工学部のソン・ヨンウン教授は「半導体製造工程で使用するには、大量の超高純度フッ化水素を安定した品質で供給できなければならないが、ロシア製はまだ何も証明されていない」と語ったと伝えてている。

大手企業からすれば、ロシア産であれ、何であれ、評価しないで使う事はあり得ない。結局評価に数カ月を要するのは同じ。しっかりと輸出申請を実施して、日本から輸入したほうが得という事だ。フッ化水素は昨年から制限を受けているはず。その時に日本政府と、在庫を考慮したうえで、途切れ無ような緩和策を最初だけ実施可能とする打ち合わせをすれば良かっただけである。そういう事もしないで、放置したのだから、韓国政府の責任は重い。　サムスンはロシア産など使用しないだろう。一日止まっただけで莫大な費用が損失となる。わざわざ大変な苦労を掛けて評価するよりは、現行が望ましいのは言う前もない。

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