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サムスンが液体フッ化水素を再利用する技術を開発、「日本依存」解消に期待の声

2021年2月15日、韓国・マネートゥデイは、サムスン電子が半導体洗浄に使用される液体フッ化水素を再利用するシステムを開発し、テスト運営に入ったと伝えた。 半導体業界によると、サムスン電子が開発したのはフッ化水素洗浄液を内部循環装置で回収し再利用するというシステムで、華城(ファソン)半導体事業場の1ラインでテスト運営を行っている。本来、洗浄液は1回使用した後、化学排水処理の過程を経て排出されるが、再利用を導入することでそれだけ廃棄物を減らすことができる。

サムスン電子はテスト運営の結果を基にシステムを全設備に拡大するかどうかを決定する計画だという。このシステムが全事業場に導入された場合、フッ化水素使用量を従来の87%減らせる見込みだとしている。

高純度フッ化水素はステラケミファ、森田化学工業など日本企業が世界の需要の90%以上を生産している。2019年7月に日本が半導体などに使用される素材3品目の対韓国輸出規制を強化したことで、韓国の半導体業界に緊張が走った。記事は「液化フッ化水素は気体フッ化水素に比べると日本輸入依存度が高い方ではないが、依然として日韓関係によって素材確保が左右されるほど、敏感な品目だ」としている。 ある関係者は「液体フッ化水素を再利用すれば輸入依存度を引き下げられる。このシステムの拡大に成功すれば、韓国半導体の競争力が一層堅固なものになる」とコメントしたという。

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この記事に、韓国のネットユーザーからは「サムスンの頭脳は素晴らしい。尊敬します」「サムスン、本当に素晴らしい。サムスンが韓国の企業だということを誇りに思う」「災い転じて福となす。おかげで新技術を開発できたな」など、サムスンを称賛するコメントが殺到している。また「日本が輸出規制を強化した時、韓国はおしまいだと騒いでいた人たちはどうした?」「日本から輸入できなければおしまいだと言ってた人はどこへ?」といった声や、「ここで油断してはいけない。これから世界が韓国を追い抜こうとしてくるぞ」などの声も見られた。
https://www.recordchina.co.jp/b872140-s25-c30-d0195.html

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フッ酸は,最新液晶ディスプレイやシリコン半導体の製造プロセスにおいて必要不可欠且つ重要な薬液であり、日本はもとより米国・欧州・東南アジア・韓国・中国等の世界中で使用されている。環境問題がワールドワイドに議論されている中、フッ酸排水の回収リサイクル及びフッ素排水ゼロに限りなく達成可能とした事の意義は大きい。

各社はフッ酸排水の排出濃度を低下させる努力はして来たが、PRTRが浸透するにつれ排出水量との積で大きくクローズアップされる時代に突入した。またフッ素排水の国内の規制値は 8ppm であるが、実際には地域によって上乗せ基準が適用される場合が少なくない。本システムは,実質的にフッ素排水ゼロを目標としたものであり、今後の規制が高まっていくことがあっても対応済みと言える。

シャープ株式会社のフッ酸排水回収リサイクルシステムの成功は、重要且つ難解な薬液リサイクルの突破口を開くものであり,フッ素の環境負荷ゼロを目指した最新液晶ディスプレイや半導体生産プロセスに貢献できるとしている。

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[ 2021年02月17日 08:15 ] カテゴリ:韓国経済 | TB(0) | CM(0)
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