韓国経済News

2021年3月8日、韓国・ヘラルド経済は「これまで日本が独占してきたパワー半導体のテストシステムを韓国の研究チームが開発した」と伝えた。　記事によると、韓国電気研究院は8日、電力半導体研究センターの研究チームが炭化ケイ素（SiC）の欠陥を早期に分析・評価する技術を開発したと明らかにした。

パワー半導体は、電気自動車、再生可能エネルギーなどエコ産業の根幹となる先端素材。5G通信ネットワークなどデジタル基盤の4次産業をリードする基幹技術で、最近注目を集めている。そのパワー半導体の制御効率を維持する素材は従来のシリコン（Si）からSiCへの代替が急速に進んでいる。しかしSiCは目に見えない内部の結晶欠陥があり、これが半導体素子の性能を低下させる主要原因の一つに数えられている。そのため、高性能のSiCパワー半導体の開発には、SiCの欠陥を検査し各種問題を解決する分析技術が必要となる。現在、欠陥特定システムは日本が世界市場の80％以上を占有しているという。

今回の開発は、光ルミネセンス（PL）現象を利用してCiSの欠陥を検出するという技術。検査精密度などシステムの性能は日本のシステムと同等以上の水準を示したという。研究チームは、業者との技術移転・商用化ライン構築により、システムの価格も日本製品（約14億ウォン＝約1億3000万円）の半分ほどの水準で供給できると期待しているという。
https://www.recordchina.co.jp/b873114-s25-c20-d0195.html

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半導体を製造するために必要な半導体製造装置は、半導体産業全体の約15％程度と大きな市場で、半導体製造装置産業は日本と米国だけで約80%のシェアを占めている。1990年代はアプライドマテリアルズ、東京エレクトロン、ニコンの三強の時代が続いていたが、徐々にASMLが躍進、そして最近はラムリサーチが伸びている。2013年に東京エレクトロンは首位の米アプライドマテリアルズと経営統合すると発表したが米司法省が独占禁止法(反トラスト法)に抵触すると難色を示したため白紙(2015年)となった経緯がある。



2015年にはラムリサーチが半導体製造前工程におけるマスク検査とウェーハ検査装置の世界最大手であるKLAテンコール(KLA-Tencor)を106億ドルで買収することを発表したが、これも米司法省から独占禁止法に抵触すると抵抗をうけ2017/10/5に買収を断念することを発表している。KLA-Tencorは計測市場において、圧倒的に優位なシェアを維持しており、ラムリサーチはKLAテンコールを買収すれば半導体のプロセスおよびプロセス制御において業界の圧倒的リーダーとなるという見通しだった。

一方で半導体試験装置のシェアは、全体的に見ると、テラダイン社（米国）とアドバンテスト（日本）が拮抗しており、2 強という状況になっている。しかしながら、その内訳を見ると、その力関係は分野によって違っている。テラダインはロジック系、ミックスドシグナル系のテスターで強く、一番手となっている。（それぞれ約 60％のシェアを獲得。）　アドバンテストはメモリー系のテスターが強く、一番手となっている。（シェアが約70%。）ロジック系、ミックスドシグナル系では、テラダインに次いで二番手であり、現在、追いかけている状況である。なお、ハンドラーも強く、シェアが約30%ある。

両社が力を入れていないプローバは、東京精密と東京エレクトロンが大きなシェアを持っている。半導体には、データを記憶するメモリーと、計算をするロジック（ＳｏＣ＝システム・オン・チップ）があり、テスターにもメモリー用とＳｏＣ用がある。テスターはまず回路形成後のウエハー基板の状態の試験で使い、さらに切り出したチップをパッケージ化して最終出荷する段階の試験でも使う。以前は日本の半導体メーカーすべてがメモリーを作っていて、１９８０～90年代は日本が半導体で世界一でした。その日本の顧客に鍛えられ、アドバンテスト社は技術力を高めた。そして、チップを高速に試験する技術を強みに、メモリーテスター市場で世界一になった。

しかし、メモリー市場から日本メーカーが撤退し、アドバンテスト社の地位も低下した。一方、ＳｏＣは欧米の半導体メーカーが強く、アドバンテスト社はＳｏＣテスターでは遅れていた。そこで、11年にヴェリジーという米国のテスター会社を買収し、ＳｏＣテスターの強化に乗り出し、現在は当社のＳｏＣテスターの売り上げの７割をヴェリジーの事業が上げている。地道にシェアの引き上げを進めてきた結果、18年はＳｏＣテスターでもシェアが１位になっている。

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