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三井化学は旭化成からフォトマスク用防塵カバーのペリクル事業を取得し、設立した三井化学EMS（宮崎県延岡市）の営業を開始した。三井化学グループのペリクル事業について新製品の開発や最先端技術の向上を進め、世界トップの総合ペリクルメーカーを目指す。

三井化学EMSは三井化学の完全子会社で、従業員は約170人。液晶や有機ELなどのフラット・パネル・ディスプレー（FPD）の露光工程で使用するFPDペリクルで世界トップシェアを占めている。

三井化学が得意とする深紫外線（DUV）を光源とした半導体の露光工程で使用されるDUVペリクルにおいても、市場で高い評価を受けているという。三井化学EMSを設立することで三井化学との相乗効果を引き出し、ペリクル事業の一層の拡大につなげる。

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ペリクルは半導体や液晶パネルの露光工程において、微細パターンが描かれたフォトマスクの表面に装着する薄い保護膜。傷やホコリを付きにくくし、フォトマスクの検査・交換の頻度を抑制する。露光工程の生産性向上には欠かせない製品で、中長期的な半導体市場の拡大に併せて需要の獲得に力を入れる。
https://news.yahoo.co.jp/articles/99664b5884b4ba87427a999b1ddc8242ee84dfb6



昨年５月、三井化学は旭化成からフォトマスク用防塵カバーのペリクル事業を取得した。三井化学は、新たな長期経営計画「VISION2030」に基づき、ユニークなICTソリューション事業を創造・拡大し、基本戦略である事業ポートフォリオ変革における、第３の柱へ成長させる事を目指す。　中でも、ペリクル事業は、ICT材料の中心製品の１つとして、今後更に注力する事業と位置づけ、半導体製造プロセス革新に貢献する競争優位性の高い新製品・ソリューションを提案することで、先端領域におけるNo.1ペリクルメーカーを目指している。

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