韓国経済News

SKグループの素材子会社、SKマテリアルズは17日、超高純度（純度99.999％）のフッ化水素（HF）ガスの量産を開始したと発表した。超高純度フッ化水素は半導体生産時の必須素材だが、韓国企業が量産に入るのは初めてだ。超高純度フッ化水素はフォトレジスト、フッ化ポリイミドと共に昨年7月、日本が韓国への輸出を規制した3品目に含まれる。

SKマテリアルズは昨年末、超高純度フッ化水素ガスの新製品開発に成功し、慶尚北道栄州工場に15トン規模の生産設備を設置した。同社は今回の量産開始で2023年までに超高純度フッ化水素の国産化率を70％まで引き上げることが目標だ。同社は半導体回路を描く際に使う感光液であるフォトレジスト分野でも国産化作業を本格化している。最近にはフォトレジスト補助材のハードマスク（SOC）とフォトレジストの一種であるフッ化アルゴンフォトレジスト（ArF PR）の開発にも着手した。ArF PRの海外依存度は90％に達する。

SKマテリアルズは2021年の生産施設を完成させ、22年から年5万ガロン規模でフォトレジストを生産することを目標に掲げている。
http://www.chosunonline.com/site/data/html_dir/2020/06/18/2020061880002.html

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韓国のSKマテリアルズは17日、半導体の生産工程で使うフッ化水素ガスの量産を始めたと発表した。一定水準の高純度を実現し、サムスン電子やSKハイニックスが導入する。SKマテリアルズによると、量産を実現したフッ化水素ガスの純度は99.999%で「ファイブナイン」と呼ぶ純度。日本の素材メーカーが輸出してきた9が11個並ぶ超高純度の「イレブンナイン」と比べて品質は劣る。

また年間15トン規模の生産設備を稼働させて、23年には韓国内での半導体生産に使用するフッ化水素の国産化比率を70%にまで高めるという。超微細化半導体には使用できない数値では…。中低価格半導体にのみ使用するという事だろうか。いずれにしても日本の製造技術にも特許があるわけで、また技術的に日本と同等の高純度は無理。となると使う用途は限定的となる。コスト面での付加価値は低いと考えれば、途中で諦めて断念するのではとも考えられる。

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